程德全的晚年，告别了政治风浪，转向了宗教与个人的内心世界。在1913年宋教仁被刺案后，他公开了案件调查的细节，但反对“二次革命”，随后便逐渐退出了政界。此后，他长期居住于上海，开始潜心于佛教。1920年，他在常州天宁寺受五戒，成为在家居士；1926年，正式受具足戒，法名“寂照”。他晚年常驻锡于苏州木渎的法云庵，并撰写了《法云庵碑记》记述其沿革。程德全于1930年5月29日病逝于上海，享年70岁。
他的身后事，也体现了其最终的信仰选择。程德全最初被安葬在苏州寒山寺附近的周巷 今狮山大桥西），背靠狮子山，面临大运河。抗日战争胜利后，其亲属遵照他生前的意愿，开坟收殓骨殖。至1965年4月，其遗骸被安放在苏州灵岩山寺的塔院内，这与佛教的安葬传统相契合。
程德全的最后结局，是指这位清末民初重要政治人物在退出政坛后的个人生活、精神归宿及身后安排。其核心内容为：在1913年“二次革命”失败后，程德全彻底告别军政生涯，此后长期寓居上海。他逐渐将人生重心转向宗教信仰，于1920年在常州天宁寺受五戒，成为佛教居士；1926年，正式受戒出家，法名“寂照”。晚年他常驻锡于苏州木渎法云庵，并参与佛教活动。1930年5月29日，程德全在上海病逝。其安葬事宜亦遵循佛教仪轨，最初葬于苏州寒山寺附近，后遵其遗愿，于1965年迁葬至苏州灵岩山寺塔院。程德全的最终归宿，标志着一位曾亲身参与晚清边务、辛亥革命及民国初年政治的核心人物，在经历时代巨变后，最终选择了佛教作为其精神的最终寄托。
